| 型号 | CX-1212A | CX-1212B | |||
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X.Y.Z轴运动定位精度 |
±0.01/300mm | ±0.01/300mm | |||
| X.Y.Z轴重复定位精度 | ±0.01mm | ±0.01mm | |||
| 分辨率 | ＜0.003mm | ＜0.003mm | |||
| X.Y.Z轴工作行程 | 1202×1202×80mm | 1202×1202×80mm | |||
| 工作平台尺寸 |
1420mm×1500mm |
1420mm×1500mm |
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