日期:2021-12-24 16:11
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详细介绍
1、平行度。
如果主轴水平不符合要求,切割后的刀槽会变宽,边缘会严重坍塌。例如,NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割硅晶圆,主轴转速3万r/min、划切速度20mm/s时间。理想的刀痕为0.030~0.035mm,当主轴打表水平等于5时m实测刀痕为0.045mm。
2、垂直度。
如果切割后工件的刀槽一侧坍塌,裂纹严重,另一侧正常,通常由于主轴垂直度不足,可根据坍塌边缘确定主轴的仰角或俯角。
3、主轴速度。
主轴速度匹配切割速度,影响切割效果是主轴速度,理论上增加主轴速度,提高切割速度,确保固定线速度不影响切割效果,