影响晶圆切割机效果的三大因素
但不同速度范围内的主轴振动不同，需要找到最佳组合点，在保证切割效果的前提下提高效率。注：选择主轴速度时，注意工具允许的最大速度，如DISCO的PIA直径50的系列刀具mm(2寸)刀盘时，最高速度60000r/min；75mm(3寸)刀盘时，最高速度40000r/min。刀具在超过允许的最高速度时会自动解体。

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